圣膜作為行業(yè)領(lǐng)先產(chǎn)品,在經(jīng)典系列膜廣泛應(yīng)用的基礎(chǔ)上,開發(fā)生產(chǎn)出以磁控濺射工藝制作de高清晰光學(xué)膜,其壽命可以達(dá)到15年以上.在建筑領(lǐng)域市場得到很好的應(yīng)用.
目前,開發(fā)的汽車前檔膜和側(cè)后擋三個(gè)系列的磁控濺射膜,正式推廣到市場上.
下面對相關(guān)工藝做一個(gè)簡單的介紹:
磁控濺射原理;電子在電場的作用下加速飛向基片的過程中與氬原子發(fā)生碰撞,電離出大量的氬離子和電子,電子飛向基片。氬離子在電場的作用下加速轟擊靶材,濺射出大量的靶材原子,呈中性的靶原子(或分子)沉積在基片上成膜。二次電子在加速飛向基片的過程中受到磁場洛侖磁力的影響,被束縛在靠近靶面的等離子體區(qū)域內(nèi),該區(qū)域內(nèi)等離子體密度很高,二次電子在磁場的作用下圍繞靶面作圓周運(yùn)動(dòng),該電子的運(yùn)動(dòng)路徑很長,在運(yùn)動(dòng)過程中不斷的與氬原子發(fā)生碰撞電離出大量的氬離子轟擊靶材,經(jīng)過多次碰撞后電子的能量逐漸降低,擺脫磁力線的束縛,遠(yuǎn)離靶材,最終沉積在基片上。磁控濺射就是以磁場束縛和延長電子的運(yùn)動(dòng)路徑,改變電子的運(yùn)動(dòng)方向,提高工作氣體的電離率和有效利用電子的能量。電子的歸宿不僅僅是基片,真空室內(nèi)壁及靶源陽極也是電子歸宿。但一般基片與真空室及陽極在同一電勢。磁場與電場的交互作用( E X B drift)使單個(gè)電子軌跡呈三維螺旋狀,而不是僅僅在靶面圓周運(yùn)動(dòng)。至于靶面圓周型的濺射輪廓,那是靶源磁場磁力線呈圓周形狀形狀。磁力線分布方向不同會(huì)對成膜有很大關(guān)系。在E X B shift機(jī)理下工作的不光磁控濺射,多弧鍍靶源,離子源,等離子源等都在次原理下工作。所不同的是電場方向,電壓電流大小而已
真空的初步知識(shí),基本概念
1.真空是指在給定空間內(nèi)低于一個(gè)大氣壓力的氣體狀態(tài),也就是該空間的氣體分子密度低于該地區(qū)大氣壓的氣體分子密度。
2.測量單位:帕斯卡(Pa)
1Pa就是1m2面積上作用1N的壓力。
1大氣壓=1.03×105Pa
3.真空度:表示真空狀態(tài)下氣體的稀薄程度。通常用壓力表示單位(Pa)
4.壓升率:單位時(shí)間內(nèi),真空度降低的速率。單位:Pa/h
5. 真空泵的抽氣速率(簡稱抽速)(單位:L/S)
當(dāng)泵裝有標(biāo)準(zhǔn)試驗(yàn)罩并按規(guī)定條件工作時(shí),從試驗(yàn)罩流過的氣體流量與在試驗(yàn)罩上指定位置測得的平衡壓力之比。
6.極限真空度:(單位:Pa)
在規(guī)定條件工作,在不引入氣體正常工作的情況下,趨向平穩(wěn)的最低壓強(qiáng)。
7.真空泵的型號(hào)及規(guī)格表示法
旋片泵表示名稱:X,雙級(jí)旋片泵表示名稱:2X,
羅茨泵表示名稱:ZJ,P表示它的排氣口位置是旁開。(廠家的一種表示,不帶有普遍性。)
以下兩種泵后面有的數(shù)字是它的抽速。
2X-70,ZJ-600
擴(kuò)散泵的表示名稱:K,T表示凸腔泵,其后面的數(shù)字表示為它的進(jìn)氣口的幾何尺寸。
KT-600,KT-400
“磁控濺射”技術(shù)是美國在60.70年代后發(fā)展航空航天事業(yè)同步發(fā)展起來的玻璃膜制造技術(shù)。原來最早是應(yīng)用于航空事業(yè)用于解決航天玻璃的隔熱防爆問題。
用專業(yè)術(shù)語解釋很難懂,咱們打個(gè)比方。一般人都有過這樣的經(jīng)歷:下雨天走在一個(gè)活動(dòng)的石板上,石板下面有泥漿,人腳踩上去后,泥漿會(huì)突然從石板底下向四周飛濺。磁控濺射也是運(yùn)用的這個(gè)原理。從圖例看,下面是濺射層,中間是一個(gè)真空空間,最上面是聚脂膜,膜的上端有磁控。這樣,當(dāng)高速電子對不銹鋼、鈦、鎳、金、銀、銅等貴稀金屬轟擊后,金屬分子將向上面的聚脂膜濺射,再通過聚脂膜上面磁的作用,使被濺射的金屬物均勻分布。所以,運(yùn)用這種工藝,解決了染色-熱蒸發(fā)工藝生產(chǎn)的窗膜透光低、高反光、隔熱功能差、視覺模糊、易褪色、耐腐蝕性差等諸多缺陷,不僅可以制作各種純金屬化窗膜,而且因?yàn)闆]有添加任何顏料,所以它可以杜絕偏色、變色,做到永不褪色,保證純正的中性色,與任何顏色都能完美匹配,并保證不分層、不剝落與開裂。更重要的是,它在不同的光照度下,視覺顏色恒定不變,可以保證室內(nèi)人員的視線清晰。
我國從85年引進(jìn)國內(nèi)后,主要用于金融,外事安全,軍警運(yùn)鈔車等高安全用途。由于此技術(shù)屬于航天高科技,生產(chǎn)環(huán)境要求在完全真空環(huán)境下,以及多種納米級(jí)高科技工藝。所以目前國內(nèi)無法生產(chǎn),全部依賴進(jìn)口,而產(chǎn)地主要來自美國。